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亮
2023-09-17 16:11:29
谢谢分享
@作手车神:
纳米压印技术和现在市场上的光刻技术有所不同 基于光学的曝光机,也就是我们常说的光刻机,从Reticle(掩膜版)到晶圆是4:1的缩小比例,而纳米压印技术下的Reticle选用特殊加工方法,从Reticle到晶圆是等比例的。 这意味着只要Reticle能做到5nm,就能压印出5nm的东西。 纳米压印可
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