可在大面积基板材料上获得厚度均匀的薄膜,...板的生产工艺中,玻璃基板要经过多次溅射镀膜形成ITO玻璃,然后再经过镀膜,加工组装用于生...国内靶材行业龙头包括A股上市公司江丰电子、有研新材子公司有研亿金、福建阿石创、以及隆华节能旗下子公司四丰电子和晶联光电
铝钕合金(Al-Nd)靶材在玻璃基板电极层的镀膜应用最为核心,在铝靶中掺加合适的钕(Nd)金属,第一,可以起到好的抗腐蚀性;第二,较低的电阻率;第三,显示屏不会发黄;第四,在后段热处理时不会起凹凸物,从而减少镀膜工序,可以得到具有高反射率的薄膜。
2021年, 公司积极参与谋划科技战略布局,获批了国家科技部、 工信部和地方政府等多个重点专项, 其中:超大尺寸红外窗口镜片的研发项目, 2021年集成电路制造产线—关键材料研发及产业化验证项目—高端集成电路靶材用超高纯铜、钴材料和高纯镍铂合金靶材, 战略性矿产资源开发利用专项-离子吸附型稀土矿绿色高效开发关键技术与装备, 稀土新材料专项—微特电机专用粘结磁体高性能化技术、新型高效深红-近红外发光材料及应用技术、玻璃基板用稀土抛光材料及其应用关键技术等项目获得国家有关部门立项支持, 获得科研项目立项30项, 为公司持续发展提供创新动力。 全年项目验收/结题32项;“集成电路用超高纯铜及其合金互连材料的关键技术与产业化”和“高比表面、超细稀土化合物制备技术及产业化”两项技术成果获得省部级一等奖,获得中国专利银奖1项; 制修订标准47项,其中国际标准4项, 国家标准14项、行业标准29项; 授权国际专利27项, 中国发明专利52项、 实用新型专利44项。
电板块,聚焦在微电子薄膜材料、稀贵金属功能材料、铂族金属材料领域,集中力量持续推广12英寸高端靶材产品,进一步提升铜、钴、贵金属靶材等重点产品在公司产品中的地位。根据集成电路发展趋势,公司以发展高端制程集成电路靶材为目标,将铜系靶材作为靶材扩产项目的核心重点,设定73,000块/年产能建设项目达产目标。截至2022年6月末,昌平基地升级改造基本完成,产能由原来的2万块/年提升至3.5万块/年,德州基地完成地下结构工程施工,项目进展顺利。2022年上半年,薄膜材料市场增量明显,靶材销量同比增长60%以上,其中12英寸靶材占比达到40%以上。铜系列靶材在中芯国际、长江存储、华虹、华力等重要客户全面上量,CuAl、CuMn产品取得大批订单,逐步成为客户最主要的铜系靶材供应商。同时,公司积极制定国内外市场推广计划,上半年公司70余款靶材通过客户验证,40余款处在验证阶段。铂族金属销量保持平稳,受铑、钯价格波动影响销售收入有所下降。