工信部发布《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》，目录中的“集成电路生产装备”新增了氟化氩光刻机，其光源为193纳米，分辨率和套刻精度分别达到65纳米和8纳米以下。

同时，上海微电子装备（集团）股份有限公司公开了“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的发明专利，这标志着公司在光刻技术领域取得新进展，对推动半导体制造技术发展具有重要意义。

核心股梳理：

张江高科（主）：持有上海微电子装备有限公司10.779%的股份，上海微电子是国内光刻机领域的领军企业，其产品市场优势主要体现在后道封装光刻机领域，在全球市场的市占率为37%，在中国大陆市场的占有率高达85%。

富乐德（创）：已研发并量产的半导体14nm制程洗净工艺，以及已较为成熟的半导体7nm部品清洗工艺，服务于京东方、中芯国际、惠科、华宏等知名企业的多个生产基地，中芯国际为公司的第三大客户。

海立股份（主）：公司为上海微电子装备集团相关设备提供冷却系统配套，已实现供货。

东方嘉盛（主）：公司是国内领先的一体化4PL数字供应链服务商，在2023年向深圳海关申请设立寄售维修保税仓库，并已获批通过，该仓库与国际头部芯片光刻机厂商合作，为华南片区集成电路制造企业提供全天候快速响应的光刻机寄售维修服务。

电科数字（主）：公司为光刻机等半导体装备生产商提供国产化计算、控制模块和产品的技术能力和产品。

奥普光电（主）：公司专注于光电测控仪器设备、光学材料、光栅编码器、高性能碳纤维复合材料制品等产品的研发、生产与销售，控股股东为长春光学精密机械与物理研究所，URE-2000系列紫外深度光刻机已经推广应用120余台（套），并远销国外6台（套），开创了中国光刻机设备出口的先例，控股子公司禹衡光学是我国编码器工程唯一中试基地，拥有多项技术成果打破海外垄断。

蓝英装备（创）：公司通过其瑞士子公司UCM AG提供精密清洗解决方案，这些解决方案被应用于电子设备制造行业，包括为荷兰光刻机制造商ASML公司提供服务。

腾景科技（科）：公司在光刻机光学系统的核心部件——合分束器的研发和生产上取得了显著进展，已经成为全球光刻机合分束器的龙头企业，与全球主要的光模块厂商如Lumentum、Finisar、华为等建立了合作关系。

晶方科技（主）：通过其子公司参与并购的荷兰Anteryon公司，为全球光刻机制造商ASML提供光学器件。

茂莱光学（科）：公司提供的光学元件包括透镜、平片、棱镜等被应用于光刻机的光源系统、光学镜头和双工作台系统中，公司是国产光刻机厂商上海微电子的供应链中一员，并与国际企业如KLA、Camtek等建立了合作关系。

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