半导体薄膜沉积设备+ PECVD+年报增长 1、公司产品已经进入国内60多条产线。公司研制的ALD设备系列产品包括PE-ALD设备和Thermal-ALD设备，PE-ALD设备已实现量产，Thermal-ALD设备已出货至不同客户端进行验证，SACVD和HDPCVD设备均已实现产业化。 2、公司主要从事半导体薄膜沉积设备，已广泛应用于国内晶圆厂14nm及以上制程集成电路制造产线,并已展开10nm及以下制程产品验证测试。 3、公司是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD设备厂商，最高可适配14nm逻辑芯片、17nmDRAM及128层FLASH制造工艺需求。 4、公司供应中芯国际、华虹集团等。公司拟投资7.5亿，用于高端半导体设备扩产项目、先进半导体设备的技术研发与改进项目、ALD设备研发与产业化项目。 5、2024年2月26日公告，公司2023年净利润6.65亿元，同比增长80.38%，变动由营收增长等引起。