我心战魂
2022-09-22 21:36:06
加自选观察观察。
@牛市1788：
【Q&A】1、半导体零部件、模组的分类？每个分类国产化的情况？难度的排序？A：零部件分类：模组件：分为EFEM（传送模块）、传送腔体、反应腔体，还有部署设备（气柜、电柜）、清洗组件、冷却组件（CM）。零部件：1）金属件：一般包括铝锭（纯铝，用作腔体）、不锈钢（用作骨架）、铝合金为原料制作的产
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