根据目前炒作节奏：光刻胶、掩模版充分发酵走强。

潜在的轮动环节：

1）产业链上下游轮动：

掩模版上游-玻璃基板；

光刻机清洗

2）平行逻辑轮动：

良率提升

电子特气

A.基板。

掩模版由基板和遮光膜构成。

光掩膜版基板长期依赖进口，原材料国外垄断。目前，光掩膜版上游原材料厂商主要集中在日本和韩国，国内有数家企业有能力生产，经过五代的产品迭代，基本最主流的掩模版所用基板只剩下石英玻璃、苏打玻璃。其中更主流的又是石英玻璃掩模版

石英掩模版成本构成中，材料占比67%，其中基板在材料中的占比超过90%。石英基板原材料，合成石英砂。合成石英砂-石英玻璃基板-石英掩模版

相关：

凯盛科技：凯盛科技为中国建材集团旗下玻璃板块研发和产业化应用的重要平台。中国建材总院利用多晶硅生产中的废弃物Si-Cl4为原料、以氯碱化工的副产品H2为能源、采用CVD工艺合成石英玻璃。此方法制备石英砣的纯度更高，可以满足光掩膜版对于石英玻璃基板纯度的要求，中国建材总院拥有此项技术的知识产权。

6月石英砂会议纪要：“给国内送货量最大的是中芯国际，没有其余半导体客户。目前较多供给光伏。

菲利华：全资子公司合肥光微光电科技有限公司充分整合湖北菲利华全球领先的合成石英基板材料优势、上海菲利华石创国内领先的石英玻璃精密加工技术优势，以及合肥高新区在FPD领域的产业集群优势，打造国内首家具备“FPD及半导体用光掩膜板精加工”能力的专业公司。

江瀚新材：上市募投项目“年产2000吨高纯石英砂产业化建设项目”。江瀚新材董事长甘书官在接受上海证券报记者专访时表示:“我们合成的石英砂纯度能达到6个9（即99.9999%），可以用在石英坩埚、光纤、光掩膜、芯片制造等领域，目前已实现中试。”

其他，石英砂矿：

石英股份

德力股份：公司北海生产基地年产600万吨高纯度石英砂项目即将投产

中旗新材：拥有石英砂储量2000万吨

B.电子特气

虽然芯片制程中需上千道工序、上百种气体，但光刻机里使用的气体品种非常少。

芯片光刻工艺过程中光刻气体主要有以下几种：氩气Ar、氟气F2、氖气Ne、氙气Xe、氪气Kr

最直接受益的光刻环节属性突出的电子特气：

华特气体：自主研发的Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne这4种混合气在2017年得到全球最大光刻机制造厂商ASML的认证，全球仅4家，公司是中国唯一的一家得到认证的气体公司。

凯美特气：2023年2月2日《关于控股子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司光刻气产品获得ASML子公司Cymer公司合格供应商认证函的自愿性披露公告》

C.光刻机清洗

多次曝光，意味着每一次光刻机处理都要经过一次光刻机清洗环节。

蓝英装备：子公司为全球唯一指定AS-ML公司光刻机相关设备配套清洗设备

富乐得：公司是国内泛半导体设备精密洗净领先服务商，业务涵盖半导体设备洗净服务、显示面板设备清洗服务及半导体设备维修服务三大板块，目前已经掌握了成熟的28/14纳米制程PVD部件清洗再生技术。中芯国际为公司第三大客户。

瀚博高新：成都拓维公司及其子公司生产和制造OpenMask、CVDMask和FMM三类OLED制程工艺用掩膜版，同时提供OpenMask清洗服务业务，公司拥有前述产品和服务的相应技术和知识产权。

飞鹿股份：苏州恩腾半导体，国内头部光刻机清洗设备，成立于2017年6月，主营半导体清洗设备，半导体检测设备，光刻胶封装，掩膜版等，未上市，飞鹿股份通过投资基金持有恩腾半导体部分股权

格林达：清洁液。

D.良率提升

天准科技：光刻对准设备，辅助提升光刻良率。已有光刻对准精度检验机等设备在第三代半导体客户现场交付使用。

广立微：此前的交流：在与客户的14m工艺开发合作项目中，在数月之内，实现SRAM成品率的突破。帮助客户快速进入量产，成为国内首家实现14nm工艺量产的代工厂（中芯）

利扬芯片：公司是国内知名的独立第三方专业测试技术服务商，主营业务包括集成电路测试方案开发、12英寸及8英寸晶圆测试服务、芯片成品测试服务以及与集成电路测试相关的配套服务。