半导体产业是当今世界科技竞争的核心领域,对于国产光刻机的自主可控为首要目标。科益虹源从公司成立之初,就针对深紫外准连续固体激光光源开展研发工作,具备完整光、机、电、控、系统和集成领域研发生产团队,是国内唯一一家能够为客户提供266nm及以下波段的深紫外、高重频、大功率、工业级、固体激光光源供应商。公司多年来深耕工业级深紫外激光器行业,是中国唯一、全球第三家光刻准分子激光技术全链条研发和产业化的公司,拥有国家02专项支持、10余年技术储备、杰出专业团队、二百余项专利授权等多项核心竞争力。具备专业化团队,能够为客户提供实时技术支持,保障客户设备稳定运行,保证产品质量同时满足客户交货周期要求,为客户经济效益保驾护航。
市场目标走出了联合精密4连板。东方中科是科益虹源的重要供应商之一,北京科益虹源是国产光源系统的领先供应商(上海微电子全新一代光刻机其采用与ASML DUV光刻机相同的光源技术,这种光源由科益虹源研发的,能够用在上海微电子设备上 )。
中国科学院控股有限公司为东方中科大股东,同时100%控股国科科仪控股有限公司,国科科仪控股有限公司参股科益虹源11.31%。东方中科互动表示公司表示北京科益虹源光电技术有限公司为公司客户,科益虹源的产品已进入国际上最高端的DUV光刻光源产品系列。东方中科目前为光刻机板块最有预期差的个股。