第一、上海微电子，走ASML路线，全程规避美规。

采用1X千瓦/60Khz的超高重复频率二氧化碳激光打靶。

上海电气：母公司为上海电气控股集团有限公司，其持有上海微电子装备(集团)股份有限公司34.91%的股权，为上海微电子第一大股东

张江高科：持股上海微电子10.779%的股份；

东方明珠：间接持有上海微电子约2%股权；

茂莱光学：DUV光学透镜已供货上海微电子；

富创精密：国产半导体设备零部件龙头，已进入ASML供应链体系，切入上海微电子等国产半导体设备厂；

苏大维格：向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品.

第二：清华大学最为创新、最为激进的SSMB-EUV光刻工厂路线，即用同步辐射源和自由电子激光两种混合光源形成SSMB-EUV光刻机光源绕开ASML封锁。

这条技术路线如果成功，光源外置、极大简化的光路直接把EUV光刻机变成体积大，但是成本相对较低的批量产品，且更匹配中国极高的基础设施建设能力。

粒子加速器

中广核技：旗下子公司中科海维研（目前更名为广核辐照技术）发成功上海光源（SSRC）加速管，成为国内首家实现该型高科技产品产业化的企业，并出口用于巴西国家重大科研项目——“巴西光源”

高能同步辐射光源

射频腔：东方钽业、西部材料；

东方钽业：铌金属具有超导性能优异的特点，是粒子加速器中铌超导腔的核心材料，主要应用于高能同步辐射光源（HEPS）、加速器驱动嬗变研究装置（CiADS）、硬 X 射线自由电子激光装置（SHINE）、强流重离子加速器装置（HIAF）等国家大科学装置，是国家重点支持产业。

必创科技: 公司为同步辐射研究用科学仪器等方面提供新型高性能科学仪器及装置。

高能同步辐射光源真空内波荡器磁性

首钢股份：首钢北冶公司近日成功中标中国科学院高能物理研究所高能同步辐射光源真空内波荡器磁性材料量产（第二包）磁极加工项目，这是北冶公司继2020年10月份后又一次中标此类项目。

高次模抑制器：

国光电气：中标中国科学院高能物理研究所高能同步辐射光源（HEPS）高次模抑制器

HEPS特种电缆：

宝胜股份：中标中国科学院高能物理研究所HEPS电线电缆

英杰电气：中标高能同步辐射光源（HEPS）调功柜

长飞光纤： 北京博邦弘光科技有限公司中标中国科学院高能物理研究所采用长飞光纤光缆产品

第三：、广智院与华中科技大学，采用分时高功率光纤激光器射击液态锡靶的方式绕开超高功率、超高重复频率二氧化碳激光器这个路线，目前样机的效果是传统二氧化碳激光器的LPP光源的数倍。