绿色科技+合作中芯国际+半导体装备 1、公司将半导体领域积累的先进技术、项目经验拓展至烟气净化、新能源、非半导体行业VOCs减排等领域的系统、关键设备、零部件及原材料研制。 2、公司深耕半导体工艺废气治理领域多年，持续服务于中芯国际等企业。 3、公司主营业务为绿色厂务系统解决方案、半导体附属装备及核心零部件、电子化学品材料。半导体领域逐步完成了工艺废气处理设备、真空设备和温控设备的国产化研制。公司和长江存储旗下武汉新芯有合作，合肥盛剑微潜在绑定长鑫。公司为华为武汉研发生产项目-海思光工厂洁净室提供工艺废气治理系统。 4、公司结合TOPcon电池PE-Poly工艺高SiH4和H₂的特点，定向研发的PW3000机型先后取得扬州新瑞、天合光能等客户的批量订单。