半导体（臭氧发生器）+制氢技术+臭氧发生器+水处理 1、子公司半导体级高浓度臭氧水系统、光伏级高浓度臭氧水系统和电子级超纯臭氧气体发生器系列产品已交付多家客户进行产品验证，待验证通过后将批量生产及供货。公司晶圆清洗用NH3-DIW机处于样机待验收阶段，目标实现半导体先进&前沿制程工艺用氨水发生器国产化替代。 2、公司具有PSA、VPSA制氢技术和产品的储备。 3、新疆公司造粒结晶设备已联调完毕，目前已投料运行。 4、公司已完成家用臭氧活性炭净水系统、超低温富氧原子机、厨用电解臭氧水消毒机、富氢水机和医用制氧机等系列产品的开发。