独孤剑法
2024-09-17 20:10:46
其实，早在6月20日，工信部就曾发布了《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》公示，集成电路生产设备一栏当中，就有公示一款氟化氪光刻机和一款氟化氩光刻机。随后在9月9日，工信部又将该通知重发了一遍：
@薪火投研：
（一）整机
（1）张江高科：持股上海微电子10.779%的股份；
（2）上海电气：母公司为上海微电子第一大股东；
（3）东方明珠：通过间接持股上海微电子；
（4）奥普光电：长春光机所为公司实际控制人，长春光机所生产光刻机。
（二）光源
（1）波长光电：光刻机平行光源系统；
（2）茂莱光学：精密光学器
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