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根据“02专项计划”，我国光刻机研发工作亦采用类似“Out House”的研发模式，上海微电子负责整机的设计与集成，另有五家企业各自负责对光刻机不同核心零部件的研发，科益虹源负责光源系统，国望光学负责物镜系统，国科精密负责曝光光学系统，华卓精科负责双工作台，启尔机电负责浸没系统。值得一提的是，这五家

张江高科凭借着持股上微电子，已经斩获了四个涨停板光刻机不管是DUV还是EUV，最难的就四大块：光源系统、反射镜系统、双工件台、最后到整机集成光刻机由三大核心系统，数万个零件组成，是产业链各环节顶尖公司通力合作的成果。1）光源方面，DUV采用准分子激光器，技术掌握在Cymer和Gigaphoton手中

众所周知，张江高科凭借着持股上微电子，已经斩获了四个涨停板 那如果踏空了，有没有什么补救机会呢，答案就是低位的万业企业，同样是房地产开发概念，同样是半导体概念，简直完美对标 万业企业旗下有一家凯世通，该公司的离子注入机订单均为集成电路离子注入机。目前凯世通产品已覆盖逻辑、存储、功

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麦克奥迪： 光刻机最大预期差，光刻机国家队国望光学、科益虹源注入预期 麦克奥迪是亦庄投资唯一控股上市公司， 入主麦克奥迪时承诺 ：调动优质产业资源 推动智慧医疗、光学显微镜等的发展 麦克奥迪 是 亦庄投资控股 的 智慧光学应用平台和电气能源科技平台，公司是国内少数中高端显微镜公司之一，在国内显微镜市

麦克奥迪：亦庄投资光学应用平台 ，亦庄投资唯一控股上市公司， 亦庄 旗下公司 国望光学、科益虹源是光刻机国家队，未来存在注入预期一、麦克奥迪是亦庄投资唯一控股上市公司， 入主麦克奥迪时承诺 ：调动优质产业资源 推动智慧医疗、光学显

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