无名小韭98771009
2023-09-07 00:48:55
1、N次光刻清洗
2、加倍特种气体
3、高质量Arf光刻胶及高要求掩膜版
@西伯利亚挖土豆：
中芯国际通过多重光刻技术，实现了MATE60的完全国产化，是国产半导体行业的里程碑；这意味着在美国制裁高端光刻机的背景下，通过低端光刻机+多重光刻技术可以弯道实现7nm芯片1、事件：MATE60的国产化引起市场发酵。据彭博社报道，中芯国际用交旧的ASML 光刻机，采用多重光刻法，通过4次或更多次光刻
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