根据“02专项计划”，我国光刻机研发工作亦采用类似“Out House”的研发模式。

上海微电子负责整机的设计与集成。

另有五家企业各自负责对光刻机不同核心零部件的研发，

科益虹源负责光源系统
国望光学负责物镜系统
国科精密负责曝光光学系统
华卓精科负责双工作台
启尔机电负责浸没系统

值得一提的是，这五家承担核心零部件研发企业，均与中国顶尖高校联系紧密，代表着中国最顶尖的半导体研发实力。下面对这“1+5”共6家公司以及背后的上市公司做一梳理。

一、上海微电子

IC前道制造光刻机能实现90nm芯片量产，目前在攻克28nm光刻机。也别小看了90nm的工艺制程，WiFi芯片、LCD驱动芯片、电源管理芯片、射频芯片、各种数模混合电路等等都是90nm光刻机制造。

涉及上市公司：张江高科通过全资子公司张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子装备(集团)股份有限公司10.779%股权，为其第四大股东。

上海电气公司母公司上海电气控股集团有限公司为上海微电子第一大股东。

二、北京科益虹源

北京科益虹源光电技术有限公司成立于2016年7月，主营光刻机光源系统，拥有准分子激光技术研究、产品开发的能力。

光源则是高端光刻机另一核心部件，光源波长决定了光刻机的工艺能力。

目前，中国科学院微电子研究所持股26.61%。公司的研发基地在北京亦庄，北京亦庄国投持股17.86%。

三、北京国望光学

北京国望光学科技有限公司成立于2018年，经营范围包含光刻机曝光光学系统、高端镜头、光电仪器与装备、光学加工与检测设备等。国望光学在光刻机产业链的定位是物镜系统供应商。

高端光刻机含有上万个零部件，而光学镜片则是核心部件之一。高数值孔径的镜头决定了光刻机的分辨率以及套值误差能力，重要性不言而喻。

目前，北京亦庄国际投资发展有限公司持股国望光学66.67%，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所持股国望光学14.67%。

四、长春国科精密

长春国科精密光学技术有限公司成立于2014年，总部位于吉林省长春市，在上海设有投影光刻照明系统研发事业部。据长春国科精密官网，长春国科精密作为“国家科技重大专项02专项”支持的唯一高端光学技术研发单位，正在承担NA0.82、NA1.35等多种类型高端IC制造投影光刻机曝光光学系统的技术研发及产业化推进工作。

需要指出的是，长春国科精密光学曾经是长春光机的子公司，但是光机所已经把这个长春国科打包卖给了国望光学。目前长春国科精密光学已是国望光学的100%全资子公司，也就是说是北京亦庄的孙公司。

综上二、三、四，北京科益虹源、北京国望光学、长春国科精密均与北京亦庄国际投资发展有限公司、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所相关，而与这两家公司关联的上市公司有：

麦克奥迪是北京亦庄投资唯一控股上市公司，北京亦庄入主麦克奥迪时承诺：调动优质产业资源，推动智慧医疗、光学显微镜等的发展。

而北京科益虹源、北京国望光学、长春国科精密都是亦庄旗下公司，所以市场预期同一控制下进行重组，这也是最大的预期差。另外，麦克奥迪光学镜头实锤供货光刻机。

奥普光电实际控制人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,主营光机电一体化产品。

五、北京华卓精科

华卓精科成立于2012年，主营业务为集成电路制造装备及关键零部件的研发和产业化。目前产品包括光刻机双工件台及其衍生产品超精密运动平台、激光退火设备、晶圆键合设备等。

华卓精科的科创板IPO申请获得上交所受理，但这一IPO流程已被中止。
S张江高科(sh600895)S
S麦克奥迪(sz300341)S
S奥普光电(sz002338)S