异动
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无名小韭94700916
2024-09-17 16:00:08
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@超前挖掘: 1)9月10日,上海微电子更新了一个动态,公开了名为“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的发明专利2)工信部印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》。其中在电子专用装备目录下,“集成电路生产装备”包括氟化氩光刻机,光源193纳米,分辨率≤65nm,套刻≤8nm。 概念股:
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