关键信息如下：

福晶科技：精密光学元件、晶体。光学系统，中科院福建物构所控股，曾间接供应ASML。子公司“至期光子”聚焦纳米精度的超精密光学元件制造及复杂光机组件的研发。

奥普光电：光栅编码器。双工件台系统，中科院长光所控股，国内高端光栅编码器龙头，布局超精尺，理论上可用于光刻机。

茂莱光学：DUV光学透镜。光学系统，公司研发的DUV光学透镜已应用于SMEE国产光刻机中，公司半导体检测设备光学模组供货KLA。

福光股份：高精密光学镜头。光学系统，公司是国内航天级光学镜头的重要供应商，募投项目布局超精密光学加工，有望为光刻机等领域提供高精密光学镜头及光学系统。

美埃科技：洁净室关键设备。周边配套，为SMEE开发28nm光刻机提供EFU(超薄型设备端自带风机过滤机组及ULPA(超高效过滤器)，也是SMIC、STM、Intel等的供应商。

波长光电：平行光源系统。周边配套，公司成功开发了光刻机平行光源系统，可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序。公司具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力，激光检测和测量相关产品进入半导体光刻领域配套检测产业。

炬光科技：光场匀化器。光学系统，西安光机所投资，供货给世界顶级光学公司并最终应用于ASML核心照明系统)设备，同时也应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。

腾景科技：合分束器。光学系统（照明系统)，公司应用于光刻机光学系统的合分束器处于样品验证阶段。

苏大维格：光栅尺。工件台，向SMEE提供定位光栅部件，公司光栅尺周期精度小于1nm，且公司纳米压印技术国内领先。

蓝英装备：精密清洗解决方案。周边配套，公司位于瑞士的二级子公司SECH为ZEISS用于芯片制造的镜头及半导体生产提供精密清洗设备；为ASML提供精密清洗解决方案。

赛微电子：MEMS反射转镜。光学系统（照明系统)，子公司Silex为全球光刻龙头公司提供微镜系统，是该公司微镜的主供。

张江高科：持有上海微电子（光刻机装机制造企业）的股份为10.779%。