异动
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moon2
2023-09-15 11:33:00
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@纯真老韭菜: 国产光刻机方面拐点已至,根据公开消息,主要有三条路线。一是上海微电子,走ASML路线,全程规避美规。采用1X千瓦/60Khz的超高重复频率二氧化碳激光打靶。二是广智院与华中科技大学,采用分时高功率光纤激光器射击液态锡靶的方式绕开超高功率、超高重复频率二氧化碳激光器这个路线,目前样机的效果是传统二氧化
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