光刻胶产业链自上而下依次为:粗单体——单体——树脂——配胶。树脂的物理、化学特性直接决定了配胶后的性能,作为最核心的环节,树脂的制造工艺是难度最高的。
当前我国对于光刻胶部分原材料已基本能实现量产,其中包括绝大多数的粗单体、部分纯化单体(高端部分仅8-10%)以及部分的配胶,但高端树脂的制造基本是空白。
光刻胶纯化工序主要以沉吸分离法为主,以硅胶、氧化铝、凝胶柱等材料进行杂质过滤。
从各个制造环节看,粗单体到纯化单体需要进行合成后的纯化,而树脂合成后同样也需要进行纯化,且树脂纯化工序相比单体步骤更多一步金属杂质的分离。
最后,在配胶完成后,需再进行一道纯化过滤工序。
从整个制造工艺难度来看,树脂的制造环节难度是最高的,而相比树脂的合成,树脂的纯化(需要两道工序)难度更高。
当前,国内在单体纯化环节已略有突破,但也仅满足8-10%的高端品类纯化要求,而对于高端树脂纯化环节基本则是一片空白。
一方面原因在于工艺的难度以及设备的适配,另一方面在于国内的光刻胶产业链还未能达到该环节的验证要求。
值得一提的是,单体纯化与树脂纯化工序(第一道工序)存在技术相关性,制造设备上也存在一定相通性。
因此,高端单体纯化工艺的突破是实现高端树脂纯化工艺的前提,也是必由之路。
作为光刻胶原材料生产难度的制高点,树脂决定了终端光刻胶整体的特性及性能。
因此,树脂厂商更易于获取配胶的Know-how,这也是海外光刻胶厂商往往是树脂与配胶一体化的原因所在(或者是专业化树脂生产商,但自身拥有配胶专利)。
与海外先进半导体产业不同,我国半导体产业正处于追赶状态。
未来对于光刻胶国产化的要求,更需要从原材料高端单体及树脂制造工艺入手,循序渐进地从单体到树脂再到配胶。
掌握高端纯化技术,有利于打通高端单体到高端树脂制造卡脖子的障碍,是国产化的关键所在。
再加上公司本身具备的合成优势及装置,将能快速形成光刻胶单体的生产能力。
通过单体的纯化技术的积累再加上韩国Chemax的支持,将为未来树脂纯化奠定坚实基础。