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东材科技,纯化技术,光刻胶国产化关键所在
复盘反思知行合一
2023-03-09 10:56:55
近期访谈光刻胶专家,要点:

1、国内半导体级光刻胶国产化的痛点在于树脂制造环节。

光刻胶产业链自上而下依次为:粗单体——单体——树脂——配胶。树脂的物理、化学特性直接决定了配胶后的性能,作为最核心的环节,树脂的制造工艺是难度最高的

当前我国对于光刻胶部分原材料已基本能实现量产,其中包括绝大多数的粗单体、部分纯化单体(高端部分仅8-10%)以及部分的配胶,但高端树脂的制造基本是空白。


2、纯化工序贯穿整个光刻胶生产制造,是光刻胶国产化的关键所在。

光刻胶纯化工序主要以沉吸分离法为主,以硅胶、氧化铝、凝胶柱等材料进行杂质过滤。

从各个制造环节看,粗单体到纯化单体需要进行合成后的纯化,而树脂合成后同样也需要进行纯化,且树脂纯化工序相比单体步骤更多一步金属杂质的分离。

最后,在配胶完成后,需再进行一道纯化过滤工序。

从整个制造工艺难度来看,树脂的制造环节难度是最高的,而相比树脂的合成,树脂的纯化(需要两道工序)难度更高。

当前,国内在单体纯化环节已略有突破,但也仅满足8-10%的高端品类纯化要求,而对于高端树脂纯化环节基本则是一片空白。

一方面原因在于工艺的难度以及设备的适配,另一方面在于国内的光刻胶产业链还未能达到该环节的验证要求。

值得一提的是,单体纯化与树脂纯化工序(第一道工序)存在技术相关性,制造设备上也存在一定相通性。

因此,高端单体纯化工艺的突破是实现高端树脂纯化工艺的前提,也是必由之路。


3、海外光刻胶产业的迭代演化在于自下而上的产业进化,而国内半导体光刻胶的国产化替代则需要自上而下的路径实现。

作为光刻胶原材料生产难度的制高点,树脂决定了终端光刻胶整体的特性及性能。

因此,树脂厂商更易于获取配胶的Know-how,这也是海外光刻胶厂商往往是树脂与配胶一体化的原因所在(或者是专业化树脂生产商,但自身拥有配胶专利)。

与海外先进半导体产业不同,我国半导体产业正处于追赶状态。

未来对于光刻胶国产化的要求,更需要从原材料高端单体及树脂制造工艺入手,循序渐进地从单体到树脂再到配胶。

掌握高端纯化技术,有利于打通高端单体到高端树脂制造卡脖子的障碍,是国产化的关键所在。


4、此次与东材科技成立合资公司的韩国Chemax公司,在光刻胶单体纯化领域具有国际领先的制造工艺水平,并同时具备树脂、配胶等高端产品的制造技术储备。
a.产品优势。根据产业的信息,Chemax高端单体产品已帮助韩国实现了Arf、Krf等高端光刻胶国产化,并成功通过了韩国海力士、三星、东进世美肯等巨头厂商的验证。
b.合作共赢。此次与东材的合作,双方都充分发挥各自的优势:东材提供合成技术以及资本扩产能力,合资企业一期项目高端单体在国内投产后,给予Chemax更多的中国市场机遇;韩国Chemax公司提供高端纯化工艺,以及后续赋能合资公司成熟的韩国销售渠道。
c.曲线救国,加速推进国产化。国内半导体光刻胶的国产化痛点其实质在于制造生态的缺失,上下游工艺的不成熟以及高端品类的不齐全,导致在核心环节高端树脂的研发推进不顺。此次东材联合Chemax,将为国内半导体光刻胶验证途径打开了新的拓展思路。

补充:根据与公司相关负责人交流,了解到东材科技目前已进行相关纯化设备的购置,预计今年5-6月设备交付,年内将具备光刻胶单体的纯化条件。

再加上公司本身具备的合成优势及装置将能快速形成光刻胶单体的生产能力

通过单体的纯化技术的积累再加上韩国Chemax的支持,将为未来树脂纯化奠定坚实基础。


 
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