[烟花]【光大电子|至纯科技】长江存储高纯工艺大额订单落地，清洗设备导入有望加速

[太阳]8月4日公司发布公告，中标长江存储特殊气体系统包，订单金额2.76亿元，其中设备材料2.32亿元，安装服务0.44亿元，设备材料主要为各类工艺气体（含用于氧化/扩散、刻蚀、离子注入、沉积等干法工艺）支持性设备。此次长江存储大额高纯工艺订单落地，有望加速清洗设备导入进度。

[太阳]湿法设备订单持续翻倍，有望成为高端湿法设备的领先者。公司22H1湿法设备订单8个亿，相比于21H1的4个亿实现翻倍。22年公司湿法设备订单目标超过20亿（单片占比60%，21年湿法设备订单11.2亿），预计2023年有望达到30-40亿元，连续6年持续翻倍，我们测算至纯该业务22-23年收入分别为13-14和19-20亿元收入。目前公司在28nm节点获得全部工艺的设备订单，在14nm以下制程获得了 4 台湿法设备订单，客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华润、燕东、台湾力晶等。

[太阳]公司是中国清洗设备巨头企业，国产替代空间巨大。未来中国年采购额将达到约20-30亿美元/年。全球清洗设备龙头DNS在全球和中国市占率约50%，CR3超过90%，国产替代空间巨大。至纯科技专注于湿法清洗设备领域，产品战略对标DNS，部分领域逐步打破DNS垄断地位，未来高速成长可期。

[太阳]公司是国内高纯工艺支持设备的领先供应商，每年交付超过 5000台套。2021年起公司将高纯特气设备、高纯化学品供应设备、研磨液供应设备、前驱体供应设备、工艺尾气液处理设备、干法机台气体供应模块等工艺支持性的设备作为单独的分类，每年交付超过 5000 台套，不单单做集成服务，核心客户均为行业一线集成电路制造企业如中芯、华虹、长鑫，士兰微等。21年公司高纯工艺收入10个亿，其中支持类设备占比约30%，有望持续提升。

[玫瑰]投资建议：至纯科技是严重低估的半导体设备股，我们预计至纯科技22和23年收入为30+和40+亿元，半导体清洗设备收入约13-14和19-20亿元，半导体高纯工艺业务均约10亿元收入；22-23年净利润约4和5.6亿元，扣非净利润约3.0-3.5和5.0+亿元。至纯科技目前市值130亿元对应22/23年PE为33x和23x，严重低估，建议积极关注。

[福]光大电子通信团队：刘凯18507555836/石崎良/孙啸/杨德珩（中芯国际工作经验）13917524085/于文龙/蔡微未/何昊/林仕霄/朱宇澍/王之含