国产设备酝酿突破,产业化瓶颈打开。高昂的设备投资是制约HIT产业化的核心因素,大通量PECVD一直是难点所在。近几年国内设备商在PECVD上倾注了大量研发资源,取得了很多进展,国内1GW的设备价格已经下降到5亿左右,随着节拍提升和零部件国产化,设备价格有望继续下降到4亿,打开HIT产业化的瓶颈。
国内设备企业的技术攻关主要就是集中在PECVD上,主要解决成本问题。目前国内节拍最高的PECVD节拍是3600片/小时,对应单机产能170MW,仍需要进步。迈为、捷佳、金辰、比太都在按照5500-6000片的节拍进行研发,对应单机产能250-300MW,已经有很大进展。一旦彻底突破,PECVD的GW投资将从5亿下降到2.5亿。
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