异动
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2的m次方
2024-09-11 14:28:58
张江高科
@淡泊捉妖记: 天眼查显示,上海微电子装备(集团)股份有限公司于9月10日披露了一项名为“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的发明专利,申请日期为2023年3月9日,申请号为CN202310226636.7,发明人为王伟伟、付辉、卢嘉玺、张洪博、蔡万宠、张子辰。上海微电子装备(集团)股份有限公司在光刻技术领域取得的这一
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