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linda2020
2023-10-12 06:14:34
光刻机
@深度挖掘题材:
根据“02专项计划”,我国光刻机研发工作亦采用类似“Out House”的研发模式,上海微电子负责整机的设计与集成,另有五家企业各自负责对光刻机不同核心零部件的研发,科益虹源负责光源系统,国望光学负责物镜系统,国科精密负责曝光光学系统,华卓精科负责双工作台,启尔机电负责浸没系统。值得一提的是,这五家
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