本人理解的核心要点如下:
由于没有EUV光刻机,华为近几年内都需要靠N+2工艺来生产7nm芯片,四重曝光最大的增量来自于掩膜版,而掩膜版70%都是晶圆厂自己做(但需要外购基板,掩膜版的成本90%都是基板),掩膜版基板就是合成石英做的。
在石英掩膜版基材领域,国内石英行业龙头菲利华最先突破;而玻璃行业的国家队中国建材研究院旗下的凯盛科技后来居上,率先突破了合成石英工艺。目前国内进度最快,质量最好而且直供中芯国际的就是凯盛科技。