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2023-09-16 08:52:53
高能同步辐射光源项目概况(HEPS)光刻机
高能同步辐射光源(High Energy Photon Source,HEPS)是国家重大科技基础设施建设“十三五”规划确定建设的十个重大科技基础设施之一,是基础科学和工程科学等领域原创性、突破性创新研究的重要支撑平台。 HEPS是一台电子能量为6GeV,发射度小于等于0.06nm×rad的高性能高能同步辐射光源,主要由加速器、光束线和实验站组成,经过初步设计研究阶段的优化设计与采用最新技术,包括在高能同步辐射光源验证装置(HEPS-TF)中已经获得突破的关键技术,HEPS既具有国际先进性,
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高能同步辐射光源项目概况(HEPS)光刻机
高能同步辐射光源(High Energy Photon Source,HEPS)是国家重大科技基础设施建设“十三五”规划确定建设的十个重大科技基础设施之一,是基础科学和工程科学等领域原创性、突破性创新研究的重要支撑平台。 HEPS是一台电子能量为6GeV,发射度小于等于0.06nm×rad的高性能高能同步辐射光源,主要由加速器、光束线和实验站组成,经过初步设计研究阶段的优化设计与采用最新技术,包括在高能同步辐射光源验证装置(HEPS-TF)中已经获得突破的关键技术,HEPS既具有国际先进性,
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