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无名小韭13950204
这个人很懒,什么都没有留下
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  • 无名小韭13950204
    2023-04-14 21:01:09
    @踏浪修行王地瓜:半导体零部件(3)-静电吸盘
    静电吸盘,又称静电卡盘(ESC, E—Chuck),是一种利用静电吸附原理加持固定被吸附物的夹具,适用于真空和等离子体环境,主要作用是用于吸附超洁净薄片(如硅片),并使吸附物保持较好的平坦度,可以抑制吸附物在工艺中的变形,并能够调节吸附物的温度。     &n
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